本申请公开了一种放电反应制备乙硅烷的方法，所述方法包括以下步骤：S1：将甲硅烷和配气混合形成混合气体，S2：将混合气体通入反应器中进行放电反应，得到粗品气，S3：将粗品气冷凝后形成粗品液，S4：将粗品液汽化后进行提纯。本申请还公开了一种放电反应制备乙硅烷的系统，依次包括供气系统、反应系统、氮气系统、尾气处理系统、充装系统通过管路连接。经过本申请公开的制备方法可以提高乙硅烷的收率，并且乙硅烷的纯度高达99.9999％，并且使用该系统制备乙硅烷的工艺简单，能耗低，成本小。