一种基于磁电传感元件的电流传感器模组及其制造方法
摘要:
本申请涉及一种基于磁电传感元件的电流传感器模组及其制造方法。该磁电传感元件,包括基板,形成于所述基板上的第一压电单元和第二压电单元,以及磁致伸缩单元,所述第一压电单元和所述第二压电单元对称分布在所述磁致伸缩单元下方,其中:所述磁致伸缩单元沿长度方向磁化,用于根据磁场进行机械伸缩,产生作用于所述第一压电单元和所述第二压电单元的机械力;所述第一压电单元和所述第二压电单元受到所述机械力后产生厚度剪切振动,并分别输出与所述厚度剪切振动对应的第一电压信号和第二电压信号。采用该磁电传感元件的电流传感器模组能够提高高频电流检测灵敏度和稳定性。
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