本发明提供了结合激光干涉成像的缺陷检测方法及系统，涉及缺陷检测技术领域，该方法包括：获取目标器件的标准样本，其中，所述标准样本具备标准空间信息和标准光谱信息；通过所述激光干涉成像仪对所述目标器件进行干涉成像分析，得到目标干涉信息，其中，所述目标干涉信息包括目标空间信息和目标光谱信息；对比所述标准空间信息与所述目标空间信息得到第一对比数据，对比所述标准光谱信息与所述目标光谱信息得到第二对比数据；得到目标缺陷检测结果，解决了现有技术中在对各器件进行缺陷检测时，无法智能化进行全方位的缺陷检测，同时缺乏对器件缺陷的有效评估，导致缺陷检测结果不准确的技术问题，本发明达到了提升缺陷检测的准确度的效果。