Invention Grant
- Patent Title: 光刻胶生产用高通量反应釜控制方法、装置、设备及介质
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Application No.: CN202311745758.3Application Date: 2023-12-19
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Publication No.: CN117414785BPublication Date: 2024-03-19
- Inventor: 袁龙城 , 黄飞鸿 , 林铮 , 杨林生 , 兰应飞 , 冼景业
- Applicant: 广东林工工业装备有限公司 , 林工(广东)智能装备有限公司
- Applicant Address: 广东省广州市南沙区南沙街珠电路69号之一;
- Assignee: 广东林工工业装备有限公司,林工(广东)智能装备有限公司
- Current Assignee: 广东林工工业装备有限公司,林工(广东)智能装备有限公司
- Current Assignee Address: 广东省广州市南沙区南沙街珠电路69号之一;
- Agency: 深圳维启专利代理有限公司
- Agent 董凯特
- Main IPC: G05B19/418
- IPC: G05B19/418 ; B01J19/00 ; B01J4/00
Abstract:
本申请涉及一种光刻胶生产用高通量反应釜控制方法、装置、设备及介质,包括获取各个进料口的进料口进料消息,根据进料口进料消息触发控制阀指令,根据控制阀指令生成反应釜启动指令,根据反应釜启动指令启动反应釜;实时获取高通量反应釜的反应釜工作数据并分析对应的反应波动,得到反应釜工作数据对应的反应波动数据;将反应波动数据与高通量反应釜的反应设定阈值进行反应比对,根据反应对比结果推选出最优的反应控制参数并触发反应釜控制指令;根据反应釜控制指令对高通量反应釜进行控制参数优化处理,根据优化后的控制参数控制对应的若干个反应仓进行生产处理工作。本申请具有提高制备光刻胶的效率和产量的效果。
Public/Granted literature
- CN117414785A 光刻胶生产用高通量反应釜控制方法、装置、设备及介质 Public/Granted day:2024-01-19
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