发明授权
- 专利标题: 晶圆键合力测试装置及测试方法
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申请号: CN202311754875.6申请日: 2023-12-20
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公开(公告)号: CN117433669B公开(公告)日: 2024-03-19
- 发明人: 胡智峰 , 高文琳 , 母凤文 , 郭超
- 申请人: 北京青禾晶元半导体科技有限责任公司 , 青禾晶元(晋城)半导体材料有限公司
- 申请人地址: 北京市海淀区花园北路25号小关(厂南区)4号楼1层146;
- 专利权人: 北京青禾晶元半导体科技有限责任公司,青禾晶元(晋城)半导体材料有限公司
- 当前专利权人: 北京青禾晶元半导体科技有限责任公司,青禾晶元(晋城)半导体材料有限公司
- 当前专利权人地址: 北京市海淀区花园北路25号小关(厂南区)4号楼1层146;
- 代理机构: 北京品源专利代理有限公司
- 代理商 魏全娥
- 主分类号: G01L1/16
- IPC分类号: G01L1/16 ; G01L5/00
摘要:
本发明属于半导体制造技术领域,公开了一种晶圆键合力测试装置及测试方法。该晶圆键合力测试装置包括键合晶圆夹具、压电刀片、刀片推进器和信号收集处理组件,键合晶圆夹具用于固定待测试的键合晶圆片;压电刀片用于插入键合晶圆片的键合界面,压电刀片包括上电极层、压电层和下电极层,压电层设置于上电极层和下电极层之间;刀片推进器用于夹持压电刀片并能以恒定力或恒定速度推动压电刀片插入键合晶圆片的键合界面;信号收集处理组件与压电刀片电性连接,信号收集处理组件用于收集压电刀片的电压信号并将电压信号转化为压力值。本发明提供的测试方法使用上述晶圆键合力测试装置,可以快速准确地测试出键合界面的键合力。
公开/授权文献
- CN117433669A 晶圆键合力测试装置及测试方法 公开/授权日:2024-01-23