本发明公开了一种快速筛选夹杂物统计结果中非真实夹杂物的方法，包括（1）样品夹杂物自动统计；（2）颗粒物虚焦部分宽度获取；（3）虚焦部分宽度与颗粒尺寸比值计算；（4）颗粒物筛选。最终得到无外来物干扰的夹杂物统计分析数据。本发明扫描电镜聚焦于样品平面时，真实夹杂物与样品平面为同一平面，图像观察时颗粒物与基体衬度差别明显；外来物不会进入基体，而是高于基体，因此图像观察时颗粒物存在不同程度的过焦，其与基体交界处存在一个灰度值渐变的光晕环。可通过测量虚焦部分宽度并计算其与颗粒尺寸的比值，判断是否为外来物。该方法实现对干扰物的快速筛选。