无掩模曝光装置和显示装置
摘要:
本公开涉及一种无掩模曝光装置和一种显示装置。该无掩模曝光装置包括:光源,用于发射曝光光束;光调制器,用于根据曝光图案调制曝光光束;光学系统,用于以光束点阵列的形式将已调制的曝光光束传送到基底上;位置确定单元,用于生成在光束点阵列和基底之间的相对位置数据;以及控制单元,用于基于从位置确定单元接收的相对位置数据控制光调制器。光束点阵列包括交替地设置的多个对准区域和多个失准区域、与多个对准区域重叠的开启/关闭点、以及中立点,中立点与多个失准区域重叠,并且在中立点处,基底没有被已调制的曝光光束照射,并且在第一时间点时的彼此相邻的开启/关闭点的距离与在第二时间点时的彼此相邻的开启/关闭点的距离不同。
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