发明授权
- 专利标题: 半导体器件及其制造方法、集成电路
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申请号: CN202311815225.8申请日: 2023-12-26
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公开(公告)号: CN117476645B公开(公告)日: 2024-03-22
- 发明人: 葛薇薇 , 陆阳
- 申请人: 杰华特微电子股份有限公司
- 申请人地址: 浙江省杭州市西湖区三墩镇振华路298号西港发展中心西4幢9楼901-23室
- 专利权人: 杰华特微电子股份有限公司
- 当前专利权人: 杰华特微电子股份有限公司
- 当前专利权人地址: 浙江省杭州市西湖区三墩镇振华路298号西港发展中心西4幢9楼901-23室
- 代理机构: 北京成创同维知识产权代理有限公司
- 代理商 蔡纯; 刘静
- 主分类号: H01L27/092
- IPC分类号: H01L27/092 ; H01L29/40 ; H01L29/06 ; H01L21/8238
摘要:
公开了一种半导体器件及其制造方法、集成电路,半导体器件包括:衬底;第一埋层,位于衬底上方,具有第一掺杂类型;外延层,位于衬底上方,且覆盖第一埋层;第一阱区,具有第一掺杂类型,从外延层的表面向内部延伸,与第一埋层相接触,第一阱区与第一埋层形成盆状结构;第二阱区,具有第二掺杂类型,从外延层的表面向内部延伸,位于盆状结构的内部,且与盆状结构分隔;第一注入区和第二注入区,间隔分布在第二阱区内的上部,分别具有第一掺杂类型和第二掺杂类型;以及场板层,位于盆状结构内部的外延层上方,且同时覆盖第二阱区和外延层。该场板层可以调节第二阱区和盆状结构之间的电场,使得器件可以承受正负向高压。
公开/授权文献
- CN117476645A 半导体器件及其制造方法、集成电路 公开/授权日:2024-01-30
IPC分类: