半导体器件及其制造方法、集成电路
摘要:
公开了一种半导体器件及其制造方法、集成电路,半导体器件包括:衬底;第一埋层,位于衬底上方,具有第一掺杂类型;外延层,位于衬底上方,且覆盖第一埋层;第一阱区,具有第一掺杂类型,从外延层的表面向内部延伸,与第一埋层相接触,第一阱区与第一埋层形成盆状结构;第二阱区,具有第二掺杂类型,从外延层的表面向内部延伸,位于盆状结构的内部,且与盆状结构分隔;第一注入区和第二注入区,间隔分布在第二阱区内的上部,分别具有第一掺杂类型和第二掺杂类型;以及场板层,位于盆状结构内部的外延层上方,且同时覆盖第二阱区和外延层。该场板层可以调节第二阱区和盆状结构之间的电场,使得器件可以承受正负向高压。
公开/授权文献
0/0