一种气体静压转台的控制方法、装置及气体静压转台
摘要:
本发明提供了一种气体静压转台的控制方法、装置及气体静压转台。气体静压转台包括依次设置的转台本体、壳体以及基座;基座内部设置有驱动装置;转台本体、壳体以及基座之间设置有静压腔室;驱动装置的驱动轴穿过所述壳体内部与所述转台本体传动连接,驱动装置能够带动转台本体进行转动;静压腔室包括:第一静压腔室以及第二静压腔室,第一静压腔室位于转台本体与壳体之间,第二静压腔室位于所述壳体与基座之间;其中,在壳体上设置有补气装置以及排气装置,补气装置与排气装置用于对第一静压腔室以及第二静压腔室内的气体压力进行调节。本发明能够解决气体静压转台在运行时,由于气体介质出现损失,进而降低气体介质支撑刚度的技术问题。
0/0