一种高附着力酸性单体、黑色光刻胶及其制备方法
摘要:
本发明属于光刻胶技术领域,涉及一种高附着力酸性单体、黑色光刻胶及其制备方法。所述高附着力酸性单体是通过将感光性单体、酸酐、阻聚剂、催化剂分别加入溶剂中混合反应合成,且所述高附着力酸性单体的酸值为35~45KOH mg/g。所述黑色光刻胶,按重量份数计,包括:黑色色浆30~50份、碱可溶树脂5~20份、高附着力酸性单体8~12份、引发剂3~5份、硅烷偶联剂0.2~1份、流平剂0.2~1份、有机溶剂20~50份。该黑色光刻胶基于自制的黑色色浆和高附着力酸性单体,能够耐酸性溶液攻击和碱性溶液攻击,同时满足酸性蚀刻工艺和碱性蚀刻工艺的要求,且满足不同金属基板的需求。
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