一种钌电镀液制备方法
摘要:
本发明涉及一种钌电镀液制备方法,包括如下步骤:S1:三氯化钌和浓盐酸混合均匀,滴加氧化剂,直至溶液中的ORP电位值达到950MV以上,然后恒温加热20‑30min,得到溶液A;S2:往溶液A中加入氯化铵,结晶,过滤,得到六氯合钌酸铵;S3:将步骤S2中的六氯合钌酸铵和络合剂混合,加入水形成浆化状态,搅拌混合,通入保护气体,直至六氯合钌酸铵溶解完全,得到溶液B;S4:往溶液B中加入硫酸溶液,进行减压蒸馏,最后得到钌电镀液;本发明的制备方法操作简单,成本低时间短,产物以晶体形式析出,制备过程中不添加其他盐类、不用使用其他金属催化剂辅助溶解,得到的产物的纯度和直收率高。
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