发明公开
CN117512717A 一种钌电镀液制备方法
审中-实审
- 专利标题: 一种钌电镀液制备方法
-
申请号: CN202311420693.5申请日: 2023-10-30
-
公开(公告)号: CN117512717A公开(公告)日: 2024-02-06
- 发明人: 朱振华 , 孔维龙 , 陈国栋 , 黎慧婷 , 陈浩锋 , 谢卓森 , 黄世盛 , 何天阳 , 刘贤荣 , 张俊锋 , 侯美丹 , 李灵美
- 申请人: 励福(江门)环保科技股份有限公司
- 申请人地址: 广东省江门市江海区高新西路191号
- 专利权人: 励福(江门)环保科技股份有限公司
- 当前专利权人: 励福(江门)环保科技股份有限公司
- 当前专利权人地址: 广东省江门市江海区高新西路191号
- 代理机构: 广州浩泰知识产权代理有限公司
- 代理商 张金昂
- 主分类号: C25D3/52
- IPC分类号: C25D3/52 ; C01G55/00
摘要:
本发明涉及一种钌电镀液制备方法,包括如下步骤:S1:三氯化钌和浓盐酸混合均匀,滴加氧化剂,直至溶液中的ORP电位值达到950MV以上,然后恒温加热20‑30min,得到溶液A;S2:往溶液A中加入氯化铵,结晶,过滤,得到六氯合钌酸铵;S3:将步骤S2中的六氯合钌酸铵和络合剂混合,加入水形成浆化状态,搅拌混合,通入保护气体,直至六氯合钌酸铵溶解完全,得到溶液B;S4:往溶液B中加入硫酸溶液,进行减压蒸馏,最后得到钌电镀液;本发明的制备方法操作简单,成本低时间短,产物以晶体形式析出,制备过程中不添加其他盐类、不用使用其他金属催化剂辅助溶解,得到的产物的纯度和直收率高。