一种超精密运动台垂向三自由度静态解耦迭代校正方法，属于超精密运动控制领域。所述三自由度分别为Z‑垂向平动运动自由度，Rx‑绕X轴的旋转运动自由度，Ry‑绕Y轴的旋转运动自由度；所述方法的校正对象是m×n维的静态控制解耦矩阵初始值H0，m为执行器数量，n为运动自由度；对于通过三个执行器控制垂向三自由度的运动台，m＝n＝3；与基于前馈补偿的控制解耦迭代整定方法相比，本发明公开的静态控制解耦矩阵迭代校正方法不需要额外增加前馈通道来补偿耦合误差，不增加控制系统复杂度，而且可以改善逻辑被控对象的动力学特性。