本申请涉及光电探测器和光学调控技术领域中的一种基于等离激元和光学腔的钙钛矿光电探测器及其制备方法。该钙钛矿光电探测器包括依次层叠设置的ITO衬底、电子传输层、钙钛矿层、光学层、空穴传输层和顶电极；其中所述ITO衬底和电子传输层之间设置有Au纳米颗粒阵列层。本申请所提供的钙钛矿光电探测器在ITO衬底和电子传输层之间设置一层Au纳米颗粒阵列层，在钙钛矿层上设置一层光学层，该光学层可以和底部的Au纳米颗粒形成光学腔，利用Au纳米颗粒表面等离激元的近场增强作用和光学腔的控光作用，增加了钙钛矿层的光吸收，进而有效提高了钙钛矿光电探测器的光响应度。