发明公开
- 专利标题: 一种氨气浓度与气压同测的光纤传感器及检测方法、制作方法
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申请号: CN202311392080.5申请日: 2023-10-25
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公开(公告)号: CN117554334A公开(公告)日: 2024-02-13
- 发明人: 王廷云 , 刘泽田 , 黄怿 , 邓传鲁 , 胡程勇 , 张小贝
- 申请人: 上海大学
- 申请人地址: 上海市宝山区上大路99号
- 专利权人: 上海大学
- 当前专利权人: 上海大学
- 当前专利权人地址: 上海市宝山区上大路99号
- 代理机构: 贵州派腾知识产权代理有限公司
- 代理商 唐斌
- 主分类号: G01N21/45
- IPC分类号: G01N21/45 ; G01N21/25 ; G01L11/02 ; B23K26/382 ; G02B6/25 ; G02B6/255
摘要:
本发明提供一种氨气浓度与气压同测的光纤传感器及检测方法、制作方法。该传感器中包括空芯石英毛细管(2),空芯石英毛细管(2)侧壁上存在微孔(8),空芯石英毛细管(2)两端分别与第一段单模光纤(1)、无芯光纤(3)相连接,其间构成第一反射面(5)、空腔(6)以及第二反射面(7);无芯光纤(3)表面镀有氧化锌薄膜(9),无芯光纤(3)的另一端与第二段单模光纤(4)相连。该传感器是一种能够实现高灵敏度、低串扰的气体浓度和气压同时测量的光纤传感器,具有结构紧凑,可重复性高的特点。