本发明公开了一种由真空镀膜电极和接触式导线连接方案构成的低温流体相分布测量装置。包括：表面镀有电极的绝缘测量管道、法兰、导电钉、压紧支撑结构和屏蔽罩。本装置采用真空镀膜的方式将金属电极直接附着于测量管道上，并且利用压紧装置将导电钉紧固于电极表面实现电路的导通，有效避免了低温环境下传感器电极片的褶皱以及焊点的脱落。本低温流体电容层析成像装置具有以下特点：作为模块化结构可进行整体拆装并适配不同的测量管道；可用于从室温到深低温的较大温度区段，多次大幅度温度循环不破坏传感器结构、不影响测量精度；减小了杂散电容的干扰。