本发明涉及缺陷检测技术领域，本发明公开了石英中心托盘制作工艺的质量检测与控制方法，包括：将被测托盘的测量尺寸和标准三维模型的设计尺寸进行比较，以获取被测托盘的第一质检结果；获取尺寸合格的被测托盘的M幅局部X射线图像，以及获取尺寸合格的被测托盘的M幅局部光学图像；分别对M幅局部X射线图像和M幅局部光学图像进行解析，以获取被测托盘的内部缺陷数据和外部缺陷数据，并依据内部缺陷数据和外部缺陷数据进行综合分析，以确定被测托盘的第二质检结果；本发明有利于对石英中心托盘进行质量量化和缺陷识别，进而有利于实现对石英中心托盘的质量控制。