本发明涉及湿度传感技术领域，具体公开了一种自供电低湿度传感器及其制备方法，该传感器包括基底及连接在基底两侧的电极，基底上位于两侧的电极之间的区域内设置有感湿膜，感湿膜为无机盐负载的金属有机框架材料；其制备方法包括：配置无机盐负载的金属有机框架材料的水分散液；在基底两侧粘贴电极，将无机盐负载的金属有机框架材料的水分散液涂覆在基底上位于两侧的电极之间的区域内，真空干燥后，得到自供电低湿度传感器。本发明制备的自供电低湿度传感器，由于存在强亲水性、强离子解离能力和原电池反应，使得传感器元件实现自供电低湿度传感，无需外部电源供电，对低湿度表现出高灵敏度和高稳定性，能够满足静态低湿度和动态低湿度检测需求。