本申请涉及晶圆清洗领域，公开了一种处理液混合装置及晶圆清洗系统，包括：混合罐，所述混合罐的底部设有注水孔，所述混合罐的侧面底部设有进气孔，所述混合罐的顶部设有处理液的出孔；设于所述混合罐中的支撑件，所述支撑件包括多个由下至上层叠的腔体，相邻所述腔体之间的连接处，所述腔体的侧壁之间呈螺旋式连接；最下方的所述腔体的开口对应所述注水孔，最上方的所述腔体的开口对应所述出孔；设于所述腔体内的吸收膜，用于附着注入的水。该装置可以增大水与二氧化碳在混合时的接触面积，同时使得在单位时间内混合的更加充分，同时提高二氧化碳的溶解效率。