- 专利标题: 压阻式加速度传感器的敏感结构及加速度传感器
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申请号: CN202410063803.5申请日: 2024-01-17
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公开(公告)号: CN117607489B公开(公告)日: 2024-04-09
- 发明人: 陶逢刚 , 谢晋 , 熊壮 , 赵宝林 , 刘显学 , 王颉 , 李严军
- 申请人: 中国工程物理研究院电子工程研究所
- 申请人地址: 四川省绵阳市绵山路64号
- 专利权人: 中国工程物理研究院电子工程研究所
- 当前专利权人: 中国工程物理研究院电子工程研究所
- 当前专利权人地址: 四川省绵阳市绵山路64号
- 代理机构: 成都卓跞知识产权代理事务所
- 代理商 欧鸿; 吴雪琴
- 主分类号: G01P15/12
- IPC分类号: G01P15/12 ; G01P15/08
摘要:
本发明属于加速度传感器技术领域。本发明提供一种压阻式加速度传感器的敏感结构及加速度传感器。敏感结构包括框架和敏感单元,框架形成有第一容置空间,敏感单元设置于第一容置空间内。敏感单元包括质量块、第一支撑梁和第二支撑梁。质量块具有主体以及固定至主体的凸部;第一支撑梁和第二支撑梁的一端分别连接至质量块的主体的第一纵向位置和第二纵向位置;其中,质量块的纵向为质量块的敏感方向,质量块的凸部的延伸方向与第一支撑梁、第二支撑梁的延伸方向平行;质量块在加速度作用下对第一支撑梁和第二支撑梁产生作用力。有利于提高敏感结构的抗冲击能力、横向抗干扰能力。可充分利用空间位置,从而减小敏感结构的体积。
公开/授权文献
- CN117607489A 压阻式加速度传感器的敏感结构及加速度传感器 公开/授权日:2024-02-27