一种弹性波谐振器和滤波器装置
摘要:
本发明涉及一种弹性波谐振器和滤波器装置,所述弹性波谐振器包括依次设置于支撑基材上的调制膜层、压电层和电极层;所述调制膜层包括非晶态材料和/或高缺陷密度材料;所述调制膜层的厚度≤0.5λ。本发明提供的弹性波谐振器由于在器件中引入调制膜层,可实现高阶杂散模态的抑制,减弱滤波器的谐波特性影响和增加滤波器通带外高频域的衰减度,进而提供具有优异特性的滤波器装置。
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