本发明涉及光无源器件技术领域，尤其涉及一种基于波导刻蚀结构的光纤耦合器件及其制备方法。光纤耦合器件包括传输光纤、无芯光纤以及晶体回音壁微腔；传输光纤包括第一光纤和第二光纤；无芯光纤内刻蚀形成有依次连接的第一过渡区波导、耦合区波导以及第二过渡区波导，第一过渡区波导的输入端与第一光纤的纤芯连接，第二过渡区波导的输出端与第二光纤的纤芯连接，其中耦合区波导位于无芯光纤的包层侧壁处且耦合区波导的中心线与无芯光纤的中心线不重合；晶体回音壁微腔与耦合区波导耦合。本发明通过在无芯光纤内刻蚀弯曲光波导结构以在光纤包层侧壁激发倏逝波来进行耦合的方法，保证了光纤在耦合区域的机械强度，大大提高了光纤耦合的稳定性。