一种单晶炉尾气处理装置
摘要:
本发明属于尾气处理技术领域,具体地说是一种单晶炉尾气处理装置,包括处理罐,处理罐的中间对称固定连接有隔板,隔板的端部设置有气道调整组件,隔板的顶部对称固定连接有两个过滤芯,两个过滤芯的顶部中间均固定连通有出气管,两个出气管的端部共同设置有排气组件,处理罐的顶部中间设置有清理组件,通过设置了气道调整组件,有利于将处理罐内分成两个尾气处理腔室,有利于使得处理罐内的两个过滤芯能够轮换使用,有利于处理罐能够不间断地对单晶炉尾气进行过处理,进而有利于提高尾气的处理效率。
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