一种高性能TZM合金箔材，其厚度为0.005~0.15mm，尺寸偏差±2μm；抗拉强度≥1400MPa，屈服强度≥1200MPa，延伸率≥5%；氧含量≤30ppm、氮含量≤20ppm，显微组织特征包括细长晶粒呈相互搭接交错的层状纤维结构，纤维宽长比1%~20%，细小均匀弥散的微米及纳米级第二相体积分数0.1%~2%；其制法是高纯度钼粉经过除气净化，与微米级氢化钛或碳化钛、氢化锆或碳化锆及石墨粉进行球磨混合，经合金压坯制备、复合烧结，再经真空自耗电弧熔炼、大变形量挤压开坯、交叉热轧，交叉温轧、氢气退火、交叉冷轧，最后去应力退火；所制备的TZM合金箔材，可广泛用于电真空、电子及医疗领域。