本发明公开了基于人工智能的半导体制作监管方法及系统，方法包括数据采集、数据预处理、特征选择、建立半导体制作监管模型和半导体制作监管。本发明属于数据处理技术领域，具体是指基于人工智能的半导体制作监管方法及系统，本方案将特征选择矩阵引入非线性支持向量回归，以识别原始空间中特征之间的复杂非线性关系，采用替代的迭代贪婪算法找到一个局部最优值，将复杂的混合整数问题转化为最小‑最大优化问题，有效降低了计算复杂度；改进了每个神经元的梯度，并使用加权求和的方式更新参数，基于正负样本数量改进损失函数，从而加快模型收敛速度，更好地优化神经网络的性能。