本发明公开了一种基于氧化锆的全固态气体传感器基片及其制备方法，包括加热层、绝缘层、致密扩散层、电解质层、电极层，所述电解质层作为基板，所述电解质层的上表面附着有绝缘层二和电极层二，所述绝缘层二上表面附着有电极层三，所述电极层二为参比电极，所述电极层三为工作电极，所述电解质层下表面附着有致密扩散层，所述致密扩散层下表面附着有绝缘层一和电极层一，所述电极层一为对电极，所述绝缘层一的下表面附着加热层。本发明的基片尺寸小，热量集中，易于实现在功耗较低的情况下电极片的高离子电导，实现传感器的高灵敏度。