本公开提供一种数字PCR芯片、核酸定量检测设备、系统和方法，属于生物芯片技术领域。该数字PCR芯片包括检测基板，所述检测基板包括检测电路和多个检测单元；任意一个所述检测单元包括位于所述检测基板内部的检测晶体管，以及包括检测电极和微井；所述检测电极与所述检测晶体管的栅极电连接，所述微井暴露所述检测电极的至少部分区域；所述检测电极被所述微井暴露的表面具有修饰基团，所述修饰基团能够与核酸分子结合；所述检测电路用于检测各个检测单元的所述检测晶体管的源漏电流。该该数字PCR芯片可以将核酸扩增情况转变为电检测信号。