发明公开
- 专利标题: 一种质量流量检验设备及检验方法
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申请号: CN202311642283.5申请日: 2023-12-01
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公开(公告)号: CN117760509A公开(公告)日: 2024-03-26
- 发明人: 吴春龙
- 申请人: 江苏天芯微半导体设备有限公司
- 申请人地址: 江苏省无锡市新吴区新梅路58号
- 专利权人: 江苏天芯微半导体设备有限公司
- 当前专利权人: 江苏天芯微半导体设备有限公司
- 当前专利权人地址: 江苏省无锡市新吴区新梅路58号
- 代理机构: 上海元好知识产权代理有限公司
- 代理商 朱成之
- 主分类号: G01F1/86
- IPC分类号: G01F1/86 ; G05B23/00
摘要:
本发明涉及一种质量流量检验设备,包括:接收流体的腔体;位于腔体上游的上游管路和位于腔体下游的下游管路;连接上游管路与下游管路的至少一旁路管路,设置在所述上游管路的第一临界流喷头;设置于所述旁路管路的至少一旁路临界流喷头;设置在所述第一临界流喷头的上游的第一压力检测组件;控制模块,所述控制模块与所述第一压力检测组件连接,用于在第一阶段获得所述流体的气体性质函数及在第二阶段获得流体的总流量;其中,所述第一阶段为仅有流体通过第一临界流喷头,所述第二阶段为流体通过至少一旁路临界流喷头。本发明采用临界流喷头并联的方式,通过两步骤实现了未知气体性质函数的大流量流体的流量检验。