本发明涉及一种光纤预制棒芯棒的掺氯制备方法，采用管内气相沉积工艺，将玻璃衬管装夹于沉积车床上，玻璃衬管的一端通入原料气体，在高温热源的作用下原料气体沿着玻璃衬管的轴向连续反应在衬管内壁不断生成掺杂二氧化硅沉积层，其特征在于所述的原料气体包括有四氯化硅和氧气，在沉积过程中，通过调整氧气流量和氧气分压/四氯化硅分压的比值，并调整沉积区域的热源温度，达到沉积层不同的掺氯浓度。本发明能够实现分区域不同浓度的掺氯控制，特别是针对芯层的氯掺杂可以精确的控制折射率剖面，通过芯层掺氯可使光纤芯层形成更好的玻璃晶格结构，降低光纤的衰减。