发明授权
- 专利标题: 一种碳化硅单晶的生长装置及生长方法
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申请号: CN202410205388.2申请日: 2024-02-26
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公开(公告)号: CN117779180B公开(公告)日: 2024-06-07
- 发明人: 蔡金荣 , 陈建明 , 赵文超 , 杨洪雨 , 范子龙
- 申请人: 苏州优晶半导体科技股份有限公司
- 申请人地址: 江苏省苏州市昆山市开发区杜鹃路555号A6#厂房
- 专利权人: 苏州优晶半导体科技股份有限公司
- 当前专利权人: 苏州优晶半导体科技股份有限公司
- 当前专利权人地址: 江苏省苏州市昆山市开发区杜鹃路555号A6#厂房
- 代理机构: 北京超凡宏宇知识产权代理有限公司
- 代理商 夏舒晨
- 主分类号: C30B23/00
- IPC分类号: C30B23/00 ; C30B29/36
摘要:
本发明属于碳化硅晶体生长技术领域,具体涉及一种碳化硅单晶的生长装置及生长方法。生长装置包括坩埚部,其包括周向设置的坩埚壁,坩埚壁围绕形成的空腔包括自上而下设置的生长仓和储料仓;加热部,其沿生长仓的外侧的周向设置;坩埚套筒,其包括坩埚套筒壁和坩埚套筒底,坩埚套筒壁套设于坩埚壁的外部,坩埚套筒壁相对坩埚壁升降运动;柱塞,其设置于坩埚套筒底的上部并与坩埚套筒底固定连接,其顶部套设在储料仓的坩埚壁的内部,其与储料仓的坩埚壁内壁滑动配合;坩埚盖,其盖于坩埚套筒的上方,其与坩埚套筒壁固定连接,其下部用于安装籽晶;升降机构,其设置于坩埚盖的上部,生长装置的使用能向生长仓中补充原料,生长出大尺寸的碳化硅单晶。
公开/授权文献
- CN117779180A 一种碳化硅单晶的生长装置及生长方法 公开/授权日:2024-03-29