一种碳化硅单晶的生长装置及生长方法
摘要:
本发明属于碳化硅晶体生长技术领域,具体涉及一种碳化硅单晶的生长装置及生长方法。生长装置包括坩埚部,其包括周向设置的坩埚壁,坩埚壁围绕形成的空腔包括自上而下设置的生长仓和储料仓;加热部,其沿生长仓的外侧的周向设置;坩埚套筒,其包括坩埚套筒壁和坩埚套筒底,坩埚套筒壁套设于坩埚壁的外部,坩埚套筒壁相对坩埚壁升降运动;柱塞,其设置于坩埚套筒底的上部并与坩埚套筒底固定连接,其顶部套设在储料仓的坩埚壁的内部,其与储料仓的坩埚壁内壁滑动配合;坩埚盖,其盖于坩埚套筒的上方,其与坩埚套筒壁固定连接,其下部用于安装籽晶;升降机构,其设置于坩埚盖的上部,生长装置的使用能向生长仓中补充原料,生长出大尺寸的碳化硅单晶。
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