本发明具备照射喷嘴(1A)和照射器具主体(20A)，照射器具主体(20A)具有对等离子体生成用气体施加电压的内部电极(14)，在内部形成产生等离子体的等离子体产生区域，照射喷嘴(1A)具有由非导电性材料构成的主管(2)、和覆盖主管(2)的外表面整体且以与从主管(2)的前端喷出的活性气体接触的方式比主管(2)的前端更向主管(2)的轴向突出地构成得到的导电部(3)，喷出包含在等离子体产生区域中产生的等离子体和由所述等离子体产生的活性种这两者或任一者的活性气体。