本发明涉及聚焦控制领域，特别是涉及一种微束聚焦控制方法及装置，通过获取加速器工作状态信息；将所述加速器工作状态信息输入训练后的DQN模型；从所述DQN模型接收目标调控指令；将所述目标调控指令发送至被控加速器，使所述被控加速器根据所述目标调控指令调控束流。本发明预先通过被控加速器的仿真模型，大量获得不同工作状态下的电磁电源经过不同的改变指令后得到模拟结果，并通过这些模拟结果训练DQN原始模型，最终得到可以自动调节的励磁电源，使束流按照下达的聚焦目标信息强聚焦,使束斑缩小。该方法不需要技术人员的参与，提高了装置的自动化程度，也即提升了微束聚焦效率，降低了成本。