一种用于导出用于图案化平面光学部件的光对准层的自由曲面主透镜的表面轮廓的方法
摘要:
本公开涉及一种用于导出自由曲面主透镜的表面轮廓的方法,该自由曲面主透镜用于图案化平面光学部件的一个或两个光对准层,该方法包括:获取平面光学部件的期望光学功能;获取所述平面光学部件的实际光学功能,所述实际光学功能描述为使用自由曲面测试透镜来记录的,所述自由曲面测试透镜具有配置为提供期望光学功能的表面轮廓;估计期望光学功能和实际光学功能之间的偏差;以及使用所估计的偏差来校正自由曲面测试透镜的表面轮廓,从而导出自由曲面主透镜的表面轮廓。
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