发明公开
- 专利标题: 中介层及其制备方法和封装结构
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申请号: CN202311864018.1申请日: 2023-12-29
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公开(公告)号: CN117832192A公开(公告)日: 2024-04-05
- 发明人: 周衍旭 , 吕奎 , 习王锋
- 申请人: 云谷(固安)科技有限公司
- 申请人地址: 河北省廊坊市固安县新兴产业示范区
- 专利权人: 云谷(固安)科技有限公司
- 当前专利权人: 云谷(固安)科技有限公司
- 当前专利权人地址: 河北省廊坊市固安县新兴产业示范区
- 代理机构: 北京布瑞知识产权代理有限公司
- 代理商 王海臣
- 主分类号: H01L23/498
- IPC分类号: H01L23/498 ; H01L23/538 ; H01L21/48 ; H01L21/768
摘要:
本申请提供了一种中介层及其制备方法和封装结构,涉及半导体芯片封装技术领域,改善了TGV填充工艺。本申请提供的中介层包括基板、导电层和种子层,基板包括沿基板的厚度方向贯穿基板的通孔,导电层填充于通孔,导电层包括第一导电部和第二导电部,第一导电部和第二导电部沿厚度方向排布,种子层位于第一导电部和第二导电部之间。本申请采用第一导电部和第二导电部这两个导电部填充通孔,避免了由于通孔的深宽比较高导致填充不充分,从而导致的导电层不连续(即开路)的问题。对于第一导电部或第二导电部而言,其对应的通孔的深宽比较低,保证了通孔的充分填充,改善了导电层的连续性,从而改善了TGV填充工艺。
IPC分类: