中介层及其制备方法和封装结构
摘要:
本申请提供了一种中介层及其制备方法和封装结构,涉及半导体芯片封装技术领域,改善了TGV填充工艺。本申请提供的中介层包括基板、导电层和种子层,基板包括沿基板的厚度方向贯穿基板的通孔,导电层填充于通孔,导电层包括第一导电部和第二导电部,第一导电部和第二导电部沿厚度方向排布,种子层位于第一导电部和第二导电部之间。本申请采用第一导电部和第二导电部这两个导电部填充通孔,避免了由于通孔的深宽比较高导致填充不充分,从而导致的导电层不连续(即开路)的问题。对于第一导电部或第二导电部而言,其对应的通孔的深宽比较低,保证了通孔的充分填充,改善了导电层的连续性,从而改善了TGV填充工艺。
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