压电薄膜发声结构及压电薄膜发声器件
摘要:
本申请公开了一种压电薄膜发声结构及压电薄膜发声器件,属于压电发声技术领域。本申请提供了一种压电薄膜发声结构,包括:支撑层,形成有空腔;压电材料层,位于支撑层的一侧,且覆盖空腔;第一电极,位于压电材料层的第一侧,且位于空腔内;第二电极,位于压电材料层与第一侧相对的第二侧,且在层叠方向上与第一电极正对布置;保护层,位于第二电极远离压电材料层的一侧。根据本申请的压电薄膜发声结构,第一电极设置于空腔内部,减小了压电薄膜发声结构在层叠方向上的厚度,使得压电薄膜发声结构更薄,可以实现器件的小型化;且压电薄膜发声结构无需键合或者其他打孔工艺,以实现一体化的制备。
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