本发明公开了一种具有自监测功能的青光眼超声治疗设备及其方法，包括超声波发射装置、吸盘和控制设备，所述超声波发射装置包含若干个超声换能器，所述控制设备包括触摸屏、中央控制器、超声发射电路、超声接收电路、多路复用电路、信息输出模块以及吸气模块。本发明采用上述的一种具有自监测功能的青光眼超声治疗设备及其方法，可以通过检测治疗区域的超声波回波来实时监测治疗区域的损伤情况，从而据此来实时调整治疗时间，以防止患者被治疗的时间过长或过短的情况发生，使用特殊结构的超声换能器可以减小其内部的超声反射，既可以提高超声波输出的效率，也可以减小输出超声波的尾波，从而提高治疗时的效率与诊断时的空间纵向分辨率。