发明授权
- 专利标题: 一种表面覆陶瓷涂层的均热板及其制备方法
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申请号: CN202410268533.1申请日: 2024-03-11
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公开(公告)号: CN117870427B公开(公告)日: 2024-05-07
- 发明人: 唐恒 , 黄强 , 汤勇 , 伍晓宇
- 申请人: 深圳大学
- 申请人地址: 广东省深圳市南山区粤海街道南海大道3688号
- 专利权人: 深圳大学
- 当前专利权人: 深圳大学
- 当前专利权人地址: 广东省深圳市南山区粤海街道南海大道3688号
- 代理机构: 长沙优企知识产权代理事务所
- 代理商 刘佳芳
- 主分类号: F28D15/04
- IPC分类号: F28D15/04 ; H05K7/20 ; B23P15/26
摘要:
本发明属于均热板技术领域,涉及一种表面覆陶瓷涂层的均热板及其制备方法。所述一种表面覆陶瓷涂层的均热板,包括上盖板、下盖板和吸液芯;上盖板和下盖板的内侧均设有支撑柱,吸液芯位于上盖板和下盖板形成的空腔内;上盖板和下盖板的外表面设有微柱体,微柱体的空隙中填充有陶瓷浆料,所述微柱体上设有金属复合层和陶瓷层,所述金属复合层为填充有陶瓷浆料的多层金属丝网结构。本发明通过在基板表面加工微柱体,将金属丝网固定在微柱体表面,增大了陶瓷浆料与均热板壳体的接触面积,增强了涂层的结合强度并提高了涂层的热导率,进而提升了均热板的传热性能,为第三代半导体射频芯片的热管理提供了可行方案。
公开/授权文献
- CN117870427A 一种表面覆陶瓷涂层的均热板及其制备方法 公开/授权日:2024-04-12