一种表面覆陶瓷涂层的均热板及其制备方法
摘要:
本发明属于均热板技术领域,涉及一种表面覆陶瓷涂层的均热板及其制备方法。所述一种表面覆陶瓷涂层的均热板,包括上盖板、下盖板和吸液芯;上盖板和下盖板的内侧均设有支撑柱,吸液芯位于上盖板和下盖板形成的空腔内;上盖板和下盖板的外表面设有微柱体,微柱体的空隙中填充有陶瓷浆料,所述微柱体上设有金属复合层和陶瓷层,所述金属复合层为填充有陶瓷浆料的多层金属丝网结构。本发明通过在基板表面加工微柱体,将金属丝网固定在微柱体表面,增大了陶瓷浆料与均热板壳体的接触面积,增强了涂层的结合强度并提高了涂层的热导率,进而提升了均热板的传热性能,为第三代半导体射频芯片的热管理提供了可行方案。
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