本发明公开一种芯片表面缺陷检测方法，包括如下步骤：(1)采用CCD工业相机对待检测芯片表面进行拍摄，获取芯片表面图像；(2)基于萤火算法找出芯片表面图像的分割阈值，基于分割阈值将图像分为背景区域及目标区域；(3)将目标区域分为引脚区域及中心基板区域；(4)提取引脚区域及中心基板区域内的缺陷；(5)检测缺陷的缺陷参数，对缺陷进行分类。结合二维熵多阈值函数对萤火虫算法进行优化，可以有效平衡全局搜索和局部搜索并提高收敛性能，帮助萤火虫算法跳出局部最优从而提高分割结果的精确度。