本发明实施例公开了一种真空排水方法、装置和系统，该真空排水方法包括以下步骤：对气室抽真空至预设真空值后，停止抽真空并保持预设时间，重复上述步骤预设次数，停止抽真空可打破分子吸引力与真空抽力间平衡的，使水分子吸引力突然有了释放，从而使水分子气化，经过预设时间后再次对气室抽真空，使得真空抽力一下子又加到气化的水分子上，水分子被顺势带走，降低了气室内水分子的含量，通过多次的对气室抽真空至预设真空值后，停止抽真空并保持预设时间，可将气室内的水分子全都抽出来，保证了气室在充入SF6后，SF6气体内的含水量不会变大，提高了真空排水装置和系统的工作可靠性，保证了开关气室的运行安全。