发明公开
- 专利标题： TEG电路、半导体器件、以及TEG电路的测试方法
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申请号： CN202310841960.X申请日： 2023-07-10
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公开(公告)号： CN117890741A公开(公告)日： 2024-04-16
- 发明人: 李清源 , 秋教秀 , 朴永雨 , 李斘勋 , 崔镇宇
- 申请人： 三星电子株式会社
- 申请人地址： 韩国京畿道
- 专利权人： 三星电子株式会社
- 当前专利权人： 三星电子株式会社
- 当前专利权人地址： 韩国京畿道
- 代理机构： 中科专利商标代理有限责任公司
- 代理商 张霞; 周祺
- 优先权： 10-2022-0132566 20221014 KR
- 主分类号： G01R31/26
- IPC分类号： G01R31/26 ; G01R31/27
摘要：
实施例提供了一种测试元件组(TEG)电路，包括：第一焊盘，被配置为接收要供应的测试电压；放大器，包括连接到第一焊盘的第一输入端子、连接到测试晶体管的第一端子的第二输入端子、以及电连接到第二输入端子的输出端子；可变电阻器，包括连接到放大器的输出端子的一个端子和连接到测试晶体管的第一端子的另一端子；以及栅极驱动电路，向测试晶体管的栅极供应栅极电压。
