发光二极管外延片及其制备方法、发光二极管
摘要:
本发明公开了一种发光二极管外延片及其制备方法、发光二极管,涉及半导体光电器件领域。发光二极管外延片包括衬底和依次设于所述衬底上的缓冲层、非掺杂GaN层、N型GaN层、多量子阱层、电子阻挡层和P型GaN层,所述电子阻挡层包括依次层叠的AlN层、第一超晶格层和第二超晶格层;所述第一超晶格层包括交替层叠的Alx1Ga1‑x1N层和Iny1Ga1‑y1N层;所述第二超晶格层包括交替层叠的Alx2Ga1‑x2N层、Iny2Ga1‑y2N层和Iny3Ga1‑y3N层;其中,x1≥x2,y1≥y3,y2≠y3。实施本发明,可提升发光二极管的发光效率。
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