本发明公开了一种利用镁蒸汽制备硅基纳微米材料的方法和装置，利用镁蒸汽制备硅基纳微米材料的方法主要包括：将硅铁合金与锻白混合置于真空还原炉中进行真空热还原反应生成镁蒸汽，或是在金属加热仓内于真空、高温条件下使块状镁/含镁合金熔融汽化产生镁蒸汽，利用抽气系统将镁蒸汽引入填有含硅前驱体物质的还原反应仓，镁蒸汽与含硅前驱体物质进一步发生热还原反应，得到的固体经酸洗、水洗、干燥等处理即得到目标硅基纳微米材料。该生产工艺可实现硅基纳米材料的高效、绿色、安全生产，显著降低硅基纳微米材料的生产成本，具有广阔的工业化前景。