界面测量装置及界面测量方法
Abstract:
本发明公开了一种界面测量装置及界面测量方法,用于监测树脂暂存罐中的树脂界面,减少辐射对界面测量装置中的半导体材料及器件的影响,延长界面测量装置的使用寿命。该界面测量装置包括分体式管道叉传感器(3)、电缆贯穿件(7)和处理单元(9)。分体式管道叉传感器(3)固定在所述树脂暂存罐(1)的外壁上;所述分体式管道叉传感器(3)包括叉体(4)、振子组件(5)和固定组件(6)。电缆贯穿件(7)贯穿所述屏蔽层(2)后固定在所述屏蔽层(2)上,所述电缆贯穿件(7)的形状为弧形。处理单元(9)设置于所述屏蔽层(2)外,与位于所述屏蔽层(2)外的航空插头连接器(8)电连接。
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