本发明公开了一种一体式掩膜基板脱水干燥设备，包括进料线、出料线和工作台，所述工作台连通进料线和出料线，所述工作台上设置脱水夹持件，所述脱水夹持件的位置与进料线的进料夹持件和出料线的出料夹持件分别对应，所述脱水夹持件的两侧设置IPA气体喷嘴，脱水夹持件的两侧分别设置约束板，所述约束板与工作台在水平和竖直方向均活动连接，本发明中的掩膜版基体脱水干燥设备用于掩膜版基体清洗或者漂洗后的脱水和干燥，其中通过慢提拉完成脱水，然后进行红外干燥，本发明中的脱水夹持件可完成玻璃基板的慢提拉脱水，并在脱水后直接将玻璃基板送至干燥工序，脱水和干燥无缝衔接完成，整个设备结构紧凑。