本发明公开了一种用于双轴平台的旋转驱动装置，该双轴平台包括平台底座、位于该平台底座上方的晶圆吸盘组件、以及位于该平台底座下方的垂向驱动模块，该垂向驱动模块能够驱动该晶圆吸盘组件进行垂向运动，其中该旋转驱动装置包括：位于该平台底座上的直驱模块，该直驱模块能够随该平台底座进行垂向运动，并且能够通过进行直线运动来带动该晶圆吸盘组件进行旋转运动；以及五自由度部件，该五自由度部件连接在该直驱模块与该晶圆吸盘组件之间并且具有Z向自由度、Rx向自由度、Ry向自由度、X向自由度和Rz向自由度。