一种基于MEMS膜的组装式光纤F-P声压传感探头
摘要:
本发明涉及光纤传感技术领域,尤其是一种基于MEMS膜的组装式光纤F‑P声压传感探头。其包括金属套管和金属盖体,所述金属盖体前后两端分别为开口端和封闭端,所述金属套管一端设置凸出的外螺纹段,金属套管一端通过外螺纹段连接金属盖体的开口端;金属盖体的封闭端内侧表面中心设置MEMS膜。本发明采用氮化硅膜和聚对苯二甲酸乙二醇酯膜构成夹心式的MEMS膜,提高了MEMS膜的结构强度和弹性模量,提高了反射率和灵敏度;本发明MEMS膜的周期性环状方向波纹沟道结构能够充分释放MEMS膜的初始应力,再加上夹心式结构的叠加使得MEMS膜在声压作用下具有更大的位移量和高反射率,从而提高其声压检测的灵敏度。
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