发明公开
- 专利标题: 一种基于MEMS膜的组装式光纤F-P声压传感探头
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申请号: CN202410364891.2申请日: 2024-03-28
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公开(公告)号: CN117968903A公开(公告)日: 2024-05-03
- 发明人: 王一川 , 王森 , 刘秉坤
- 申请人: 江苏光微半导体有限公司 , 无锡科晟光子科技有限公司
- 申请人地址: 江苏省无锡市经济开发区高浪东路999-8-A1-208室;
- 专利权人: 江苏光微半导体有限公司,无锡科晟光子科技有限公司
- 当前专利权人: 江苏光微半导体有限公司,无锡科晟光子科技有限公司
- 当前专利权人地址: 江苏省无锡市经济开发区高浪东路999-8-A1-208室;
- 代理机构: 无锡市观知成专利商标代理事务所
- 代理商 杨波
- 主分类号: G01L1/24
- IPC分类号: G01L1/24 ; G01H9/00 ; G01L11/02 ; B81B7/02
摘要:
本发明涉及光纤传感技术领域,尤其是一种基于MEMS膜的组装式光纤F‑P声压传感探头。其包括金属套管和金属盖体,所述金属盖体前后两端分别为开口端和封闭端,所述金属套管一端设置凸出的外螺纹段,金属套管一端通过外螺纹段连接金属盖体的开口端;金属盖体的封闭端内侧表面中心设置MEMS膜。本发明采用氮化硅膜和聚对苯二甲酸乙二醇酯膜构成夹心式的MEMS膜,提高了MEMS膜的结构强度和弹性模量,提高了反射率和灵敏度;本发明MEMS膜的周期性环状方向波纹沟道结构能够充分释放MEMS膜的初始应力,再加上夹心式结构的叠加使得MEMS膜在声压作用下具有更大的位移量和高反射率,从而提高其声压检测的灵敏度。
公开/授权文献
- CN117968903B 一种基于MEMS膜的组装式光纤F-P声压传感探头 公开/授权日:2024-06-07