本发明公开了一种电极板及其设计加工方法、加工设备，涉及等离子体设备技术领域，本发明的电极板的设计加工方法，包括提供板体并在板体上确定多个通气孔的预设位置，多个预设位置呈环形图案设置在板体上；设计加工轨迹:将板体表面划分为n个扇形区，m个环形图案在每个扇形区内形成m个弧形图案，将多个弧形图案所在的位置按照对数螺旋线划分为n条加工轨迹，每条加工轨迹上的弧形图案依次跨过每一个扇形区，且位于相邻的环形图案上；按照第2i‑1条、第2i条加工轨迹依次加工预设位置形成通气孔。本发明提供的电极板及其设计加工方法、加工设备，能够提高通气孔的加工精度，从而提高等离子体气体的均匀性。