发明公开
CN117976603A 一种芯片除尘设备
审中-实审
- 专利标题: 一种芯片除尘设备
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申请号: CN202211315490.5申请日: 2022-10-26
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公开(公告)号: CN117976603A公开(公告)日: 2024-05-03
- 发明人: 唐毅 , 桑柳波 , 李易英 , 章梦圆 , 周霖
- 申请人: 中科广化(重庆)新材料研究院有限公司
- 申请人地址: 重庆市北碚区云禾路74号5楼
- 专利权人: 中科广化(重庆)新材料研究院有限公司
- 当前专利权人: 中科广化(重庆)新材料研究院有限公司
- 当前专利权人地址: 重庆市北碚区云禾路74号5楼
- 代理机构: 成都环泰专利代理事务所
- 代理商 李斌; 何佰骏
- 主分类号: H01L21/687
- IPC分类号: H01L21/687 ; H01L21/67 ; B08B5/02 ; B08B13/00 ; B08B15/04
摘要:
本发明涉及芯片加工技术领域,更具体的公开了一种芯片除尘设备,包括底座,所述底座的上表面上固定连接有四个支撑杆,所述支撑杆的上端固定连接有顶板,通过定位机构,有利于对需要进行除尘的芯片进行固定,无需使用螺栓的工具进行固定,无需使用特定工具即可将芯片进行固定和方便,通过翻转机构,有利于将芯片进行翻转,使得可以对芯片进行全面的清理,无需将芯片拆卸并重新安装,通过除尘机构,有利于无需将芯片放置到清理液中进行灰尘的清理,无需后续对芯片的表面上残留的清理液进行烘干,简化了芯片除尘的工序,通过收集机构,有利于将清理过后的灰尘进行集中收集,无需人工进行收集,节约了人力的使用。
IPC分类: