本发明提供了一种太赫兹MEMS可调谐反射阵天线及其波束扫描实现方法，其中反射阵天线包括：MEMS阵列包括多个MEMS单元，每个MEMS单元包括基体，金属反射板，以及固定在金属反射板与所述基体之间的驱动组件；基板，MEMS阵列、电源接口和控制接口固定在基板上，控制接口用于对驱动组件进行控制，实现金属反射板的位移和偏转；馈源天线，位于基板设置有所述MEMS单元的一侧，用于辐射太赫兹波经过自由空间传播到所述MEMS阵列上。而扫描实现方法包括：确定MEMS单元的周期、确定MEMS单元的设置数量、确定馈源天线尺寸、确定各金属反射板的位移、确定各金属反射板的偏转角度、驱动组件控制。使得本申请具有扫描角度大、成本低、带宽大的优点。