本发明公开了一种谐振器及其制备方法，谐振器包括衬底结构、牺牲层结构、防护栅结构和谐振堆叠结构；衬底结构包括衬底层和键合材料层；牺牲层结构包括空腔以及围绕空腔的牺牲层本体；牺牲层本体包括镂空区，镂空区围绕空腔；防护栅结构包括第一防护栅和第二防护栅，防护栅位于镂空区并且围绕空腔，第二防护栅位于牺牲层本体靠近空腔的一侧；堆叠谐振结构位于牺牲层结构远离键合材料层的一侧；堆叠谐振结构包括第一牺牲通道，第一牺牲通道贯穿堆叠谐振结构；沿衬底结构厚度方向，第一牺牲通道的位于第二防护栅靠近键合材料层的中心，并且第一牺牲通道的投影与空腔的投影重合。防护栅结构可以提升谐振器的结构稳定性，并保证谐振器整体性能更优。