Invention Publication
- Patent Title: 一种盒状间接加热型相变开关器件的制备方法
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Application No.: CN202410055375.1Application Date: 2024-01-15
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Publication No.: CN117998974APublication Date: 2024-05-07
- Inventor: 高莉彬 , 韩笑莘 , 孙延龙 , 陈宏伟 , 张继华
- Applicant: 电子科技大学 , 成都炎芯微电子有限公司
- Applicant Address: 四川省成都市高新区(西区)西源大道2006号;
- Assignee: 电子科技大学,成都炎芯微电子有限公司
- Current Assignee: 电子科技大学,成都炎芯微电子有限公司
- Current Assignee Address: 四川省成都市高新区(西区)西源大道2006号;
- Agency: 电子科技大学专利中心
- Agent 吴姗霖
- Main IPC: H10N70/00
- IPC: H10N70/00 ; H10N70/20
Abstract:
一种盒状间接加热型相变开关器件的制备方法，属于微波电子学和微波开关器件技术领域。本发明提供的一种盒状间接加热型相变开关器件的制备方法，采用光刻工艺和磁控溅射，形成了四端包围间接加热式器件，即实现了加热材料对相变层的全包围；当加热层材料在电脉冲控制作用下产生焦耳热后，相较于普通相变开关器件，会实现快速升温且能均匀加热相变层材料，大幅缩短了相变开关的处理信息周期时间，使相变材料的工作状态更加稳定，可以快速切换状态。
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